Die ersten Versuche, das Land zu besiedeln, waren mikrobielle Matten, große flache Kolonien photosynthetischer Mikroben, deren versteinerte Überreste auf 2.6 Milliarden und 2.7 Milliarden Jahre datiert wurden. Für Milliarden von Jahren waren Mikroben die einzigen Lebensformen, die das Land besiedelten (und das einzige Leben überhaupt). Diese Mikroben lebten hauptsächlich an den Küsten der Ozeane und Bäche und würden nur als grüner Schleim erscheinen. Es würde noch viele Millionen Jahre dauern, bis das Leben das Land ernsthaft kolonisieren könnte.
Die ersten möglichen Spuren an Land werden vor 530 Millionen Jahren, während des Kambriums, datiert. Diese als Protichniten und Climactichniten bekannten Spurenfossilien erscheinen als eine Reihe von schwachen Erhebungen bzw. langen Rillen, die Motorradspuren ähneln. Es wird angenommen, dass diese beiden Spuren von frühen Arthropoden gemacht wurden, und einige von ihnen sind für die damalige Zeit ziemlich groß – bis zu 10 cm (4 Zoll) breit. Diese Spuren könnten von Seeskorpionen hinterlassen worden sein, die von einem Gezeitenbecken zum anderen reisten.
Die ersten weit verbreiteten terrestrischen Fossilien tauchten erst vor etwa 425 Millionen Jahren während der Silurzeit auf. Das erste Leben, das das Land besiedelte, waren Moose und Flechten. Es folgten einfache Gefäßpflanzen wie Cooksonia (meist von der Nordhalbkugel) und Baragwanathia (aus Australien), denen schnell Landpilze folgten, die fragmentarische Fossilien hinterließen. Diese Pflanzen begannen sehr klein, nur ein paar Zentimeter groß, hinterließen aber große „Wälder“ von Fossilien. Sie hatten noch keine differenzierten Stängel oder Blätter.
Wenn das Land begann, eine schöne Bodenschicht aufzubauen, konnten mehr Pflanzen wachsen, was einen positiven Rückkopplungszyklus der Landkolonisierung verursachte. Am Ende des Silur-Zeitalters war ein einfaches terrestrisches Ökosystem entstanden, das Tausendfüßler-Pflanzenfresser, Tausendfüßler- und Spinnentierfleischfresser, Wurmdetritivoren und Pilzzersetzer umfasste. Nematoden waren wahrscheinlich auch vorhanden, haben aber keine Fossilien hinterlassen. Es dauerte mehrere zehn Millionen Jahre, bis das Leben das Land weiter besiedelt hatte.