Ein Vakuumflansch ist ein kleines Gerät, das in Vakuumsystemen verwendet wird und viele Rohre und Schläuche verwendet. Sein Hauptzweck besteht darin, die Rohre miteinander zu verbinden und zu verbinden oder die Rohre mit den Kammern zu verbinden. Der Flansch erscheint normalerweise als Felge, die einen größeren Umfang hat als das eigentliche Rohr, mit dem sie verbunden ist. Es hat auch kleine Löcher in seinen Kanten, die helfen, den Vakuumflansch mit den Rohren und den Kammeröffnungen zu befestigen.
Im Allgemeinen kann ein Vakuumflansch entweder ein fester oder ein drehbarer Typ sein. Der Festflansch hat normalerweise vier bis fünf Löcher, die genau in die Löcher eines Rohres oder einer Kammeröffnung passen. Der drehbare hat jedoch normalerweise mehr Löcher, so dass selbst wenn der Klempner den Flansch in eine beliebige Richtung dreht, die Löcher immer noch mit den Löchern in den Rohren ausgerichtet werden können. Die Löcher werden dann mit Schrauben gefüllt, die festgeschraubt werden, um den Flansch und das Rohr zu verbinden. Vakuumflansche können auch an das Rohrleitungssystem angeschweißt werden, um sicherzustellen, dass kein Druck durch kleine Löcher aus dem Vakuumsystem entweicht.
Stahl ist eines der am häufigsten verwendeten Materialien bei der Herstellung eines Vakuumflansches, da die Legierung seit langem als sehr haltbar bekannt ist. Varianten des Stahls können rostfrei oder Kohlenstoff sein, wodurch der Flansch widerstandsfähiger gegen Rost und hohe Hitze ist. Als Fertigungsmaterialien werden auch Kupfer, Bronze, Messing und Aluminium verwendet. Vakuumflansche können auch aus nichtmetallischen Materialien wie Glas, Keramik oder aus PVC hergestellt werden. Alle diese Materialien sind langlebig und können durch Wasser, Hitze, Kälte und sogar Druck verwittern.
Vakuumflansche gibt es in vielen Varianten und Standardabmessungen. Einer davon ist der Quick Flange (QF), manchmal auch als Klein Flange (KF) bekannt. Der QF wird in der Regel an Rohrschellen befestigt, die am Rohr selbst befestigt werden. Ein O-Ring, eine kunststoffähnliche Scheibe, wird dann platziert, um alle Öffnungen abzudichten, bevor der Flansch endgültig verschraubt wird. Der QF ist in vier Abmessungen erhältlich, von einem Durchmesser von .629 Zoll (16 mm) bis 1.968 Zoll ( 50mm).
Für größere Flansche hat die Internationale Organisation für Normung (ISO) den LF oder den „großen Flansch“ herausgegeben. Die LF-Variante hat acht verschiedene Größen, von denen die kleinste 2.5 Zoll (63.5 mm) ist. Der mittelgroße Vakuumflansch hat einen Durchmesser von 7.87 Zoll (200 mm), während der größte der LF einen Durchmesser von 19.68 Zoll (500 mm) hat. Ebenso wie der QF wird auch der LF mit einem O-Ring geliefert und wird ebenfalls an Rohrschellen befestigt.
Eine andere Art von Vakuumflansch ist der „ConFlat“ oder CF, der wie eine Dichtung aussieht, die die beiden Rohre miteinander verbindet. Wenn die Rohre angebracht sind, wird der CF um die Rohre herum verschraubt, sodass kein Platz für Leckagen bleibt. Der CG-Vakuumflansch wird typischerweise in „Ultrahoch“-Vakuumsystemen verwendet.