El proceso de película delgada puede implicar varios procedimientos químicos o físicos diferentes. Las técnicas de procesamiento de película delgada más comunes son el uso de productos químicos líquidos o gaseosos, métodos de evaporación o el proceso de pulverización catódica. Las combinaciones de estas técnicas también son comunes en el proceso de película fina, lo que permite un mayor control sobre las propiedades del producto final. El proceso de película delgada puede ser de naturaleza física o química.
Se pueden usar productos químicos, ya sea en forma líquida o gaseosa, para crear una película delgada. La deposición de vapor químico, por ejemplo, expone un material a un químico que se descompone o reacciona con el material. A menudo, se crean subproductos peligrosos o volátiles durante este proceso, por lo que los laboratorios deben estar equipados para eliminar los productos químicos resultantes. Calentar el sustrato puede mejorar el crecimiento de la película delgada durante la deposición de vapor químico.
La evaporación es otro proceso común de película delgada. En la evaporación, el material objetivo se calienta hasta que se evapora o sublima. Una vez que la sustancia es un gas, se libera en una cámara que contiene el sustrato sobre el que se formará la película delgada. La sustancia golpea el sustrato y forma una película delgada.
Hay varias máquinas diferentes que se pueden utilizar para evaporar los materiales objetivo. Estas máquinas pueden calentar un material objetivo en una bobina, placa o cámara calentada. Las sustancias también pueden evaporarse si son alcanzadas por un haz de electrones o fotones de alta intensidad, como los emitidos por un láser.
El proceso de pulverización catódica, también llamado deposición catódica o pulverización catódica con magnetrón reactivo, es un proceso de película fina comúnmente utilizado. Durante este proceso, se coloca un sustrato en una cámara de vacío en una máquina especializada. El aire se aspira fuera de la cámara y el material objetivo se libera en la cámara en forma de gas. Los imanes fuertes crean una carga que hace que el material objetivo se ionice y se deposite en el sustrato. Mover el sustrato hacia adelante y hacia atrás durante este proceso asegura que la película delgada se distribuya uniformemente en su superficie.
El proceso de película delgada crea películas delgadas de varios elementos o moléculas que varían entre unos pocos y unos pocos cientos de átomos de espesor. Las películas delgadas tienen muchos usos y son componentes comunes en computadoras, dispositivos ópticos y como filtros de color para cámaras y telescopios. Las películas delgadas suelen estar hechas de titanio, aluminio, oro, plata y aleaciones de estos metales. Los sustratos comunes incluyen metales, plásticos, vidrio y cerámica.